Project Description
طراحی مهندسی، صنعتی و ساخت دستگاه CVD
انباشت بخار شیمیایی یکی از روش‌های انباشت در خلاء برای تولید مواد با کیفیت، با کارایی بالا و جامد می‌باشد. از این روش معمولاً در صنایع نیمه هادی برای تولید لایه‌های نازک استفاده می‌شود. غالباً انباشت روی زیر لایه‌ای از ماده مشابه (مانند سیلیکون روی سیلیکون) انجام می‌شود. این انباشت ممکن است از طریق چند نوع واکنش شیمیایی انجام شود:
- گرماکافت (تجزیه گرمایی) که در آن از دمای زیاد برای تجزیه ماده استفاده می‌شود.
- نورکافت (تجزیه نوری) که در آن از نور فرابنفش یا فروسرخ برای تجزیه ترکیب‌های گازی استفاده می‌شود.
با حرارت دادن ماده اوليه در روش رسوب دهى شيميايى بخار تحت اتمسفرهاى مختلف گازى و تجزيه شيميايى ماده، لايه اتمى از ماده اوليه بر روى زير لايه، چگال شده و لايه نازك توليد مى‌شود. پوشش توليدى در اين روش دانسيته و خلوص بالايى دارد. فيلم جامد می‌تواند به صورت آمورف، چند بلورى و يا تك بلور با خواص ويژه روى زيرلايه مناسب تهيه شود. جوانه زنى در فاز گاز و كنترل رشد ذرات از مهم‌ترين فاكتورهاى فرآيند رشد است. توزيع اندازه ذرات توسط تعداد جوانه‌هاى تشكيل شده در راكتور و غلظت تراكم مواد، كنترل مى‌شود.
این پروژه به سفارش شرکت مهندسی تجهیزات پیشرفته آدنا دیاکو فناور انجام شده است. در این پروژه طراحی مهندسی دستگاه انجام و بعد از نهایی شدن چیدمان اجزاء، طراحی صنعتی، زیباسازی و هماهنگ‌سازی ارگونومی و افزایش سهولت کاربری آن بر روی طرح نهایی اعمال شده و پس از تهیه نقشه‌های اجرایی، ساخت آن انجام شد. در پایان با انجام آزمایش‌های لازم و رفع ایرادات موجود، محصول به کارفرما تحویل شد.
کاربردهای محصول رسوب شیمیایی بخار
- قطعات الكترونيكى
- لايه نازك‌هاى نيمه رسانا
- لايه نازك‌هاى مناسب براى ابزارهای برشى
- صنايع هوافضا
- مناسب براى گستره وسيعى از مواد (عناصر، نيتريدها، اكسيدها، نانوكامپوزيت ها، نيمه رساناها و تركيبات بين فلزى)
دستگاه CVD
OFFICE LINE
1.800.555.6789
EMERGENCY
1.800.555.0000
WORKING HOURS